특장점
- 초정밀
- 세계 최초 Torque Angle 복합 Sensor 양산
- 고신뢰성 비 접촉식 자계(Magnetic Field) 방식 적용
- ISO26262 대응 (ASIL-D 등급 확보)
- 비 희토류 Magnet 대응
| TAS (Torque Angle Sensor) |
|
|---|---|
| TOS (Torque Only Sensor) |
|
| TIS (Torque Index Sensor) |
|
제품종류
| 구분 | Specification |
|---|---|
| Binary Mask | CD Tolerance ≤± 0.20um, Range ≤0.25um |
| Fine-Slit Mask | CD Tolerance ≤± 0.10um, Range ≤0.10um |
| Half-tone Mask | Transmittance Tolerance ≤± 1.0% Uniformity ≤ 2.0% |
| Multi-tone Mask | Transmittance Target : 4% ~ 55% (3-tone 이상) |
뉴스
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